Materials clau utilitzats en objectius de pulverització catòdica per a recobriments de pel·lícula fina

El procés de pulverització catòdica vaporitza un material font, anomenat objectiu, per dipositar una pel·lícula fina i d'alt rendiment sobre productes com semiconductors, vidre i pantalles. La composició de l'objectiu defineix directament les propietats del recobriment, cosa que fa que la selecció del material sigui crítica.

S'utilitza una àmplia gamma de metalls, cadascun seleccionat per avantatges funcionals específics:

Metalls de base per a electrònica i intercapes

El coure d'alta puresa és apreciat per la seva excepcional conductivitat elèctrica. Els objectius de coure amb una puresa del 99,9995% són essencials per crear el cablejat microscòpic (interconnexions) dins dels microxips avançats, on una resistència elèctrica mínima és primordial per a la velocitat i l'eficiència.

El níquel d'alta puresa serveix com a material versàtil. S'utilitza principalment com a excel·lent capa d'adhesió i barrera de difusió fiable, evitant que es barregin diferents materials i garantint la integritat estructural i la longevitat dels dispositius multicapa.

Els metalls refractaris com el tungstè (W) i el molibdè (Mo) són valorats per la seva alta resistència a la calor i estabilitat, i sovint s'utilitzen com a barreres de difusió robustes i per a contactes en entorns exigents.

Metalls funcionals especialitzats

La plata d'alta puresa ofereix la conductivitat elèctrica i tèrmica més alta de qualsevol metall. Això la fa ideal per dipositar elèctrodes transparents altament conductors en pantalles tàctils i recobriments brillantment reflectants i de baixa emissivitat en finestres d'estalvi d'energia.

Els metalls preciosos com l'or (Au) i el platí (Pt) s'utilitzen per a contactes elèctrics altament fiables i resistents a la corrosió i en sensors especialitzats.

Els metalls de transició com el titani (Ti) i el tàntal (Ta) són crucials per les seves excel·lents propietats d'adhesió i barrera, i sovint formen la capa fonamental sobre un substrat abans d'aplicar altres materials.

Tot i que aquest conjunt d'eines de materials divers permet la tecnologia moderna, el rendiment del coure per a la conductivitat, el níquel per a la fiabilitat i la plata per a la reflectivitat suprema continua sent inigualable en les seves respectives aplicacions. La qualitat constant d'aquests metalls d'alta puresa és la base dels recobriments de pel·lícula fina d'alt rendiment.


Data de publicació: 24 de novembre de 2025